Co-phàirtean Vacuum Teòthachd Àrd
Tha làimhseachadh teas sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach pròiseasan oxidation, sgaoileadh agus annealing.Is e pròiseas cur-ris a th’ ann an oxidation anns a bheil wafers silicon air an cur ann am fùirneis àrd-teòthachd agus tha ocsaidean air a chuir ris gus freagairt leotha gus silica a chruthachadh air uachdar an wafer.Is e sgaoileadh a bhith a’ gluasad stuthan bhon raon dùmhlachd àrd chun roinn dùmhlachd ìosal tro ghluasad teirmeach moileciuil, agus faodar am pròiseas sgaoilidh a chleachdadh gus stuthan dopaidh sònraichte a dhùsgadh anns an t-substrate silicon, agus mar sin ag atharrachadh seoltachd semiconductors.
